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その他開示6920レーザーテック電機・精密

新製品 マスク欠陥検査装置 MATRICS X712シリーズを発表

レーザーテックは、マスクショップやウェハファブ向けの新しいマスク欠陥検査装置「MATRICS X712シリーズ」を製品化し、発表した。5・6・7インチマスクに対応し、最短22分で1枚を検査できるとしている。

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規模
22
分/マスク(最短検査時間)
書きぶり
断定的
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発表された内容

マスク欠陥検査装置 MATRICS X712シリーズ
適用分野(この発表が対象とする用途)

マスクの製造工程における異物検査および品質確認検査、ウェハファブにおけるマスクの受入検査および定期的な品質確認検査。ロジック、アナログ、ディスクリート、パワーデバイスなどのアプリケーション。>250nm~90nmクラスのデザインノード。

提供開始日2026年3月31日(発表日。製品化済みと記載)
会社が数字で示したこと
定量的な効果

最短22分/マスクの高速検査

この発表で、会社は契約金額・提供価格・業績への影響のいずれにも触れていません。

発表された内容
項目内容
対象製品・サービス名マスク欠陥検査装置 MATRICS X712シリーズ
提供開始日2026年3月31日(発表日。製品化済みと記載)
適用分野マスクの製造工程における異物検査および品質確認検査、ウェハファブにおけるマスクの受入検査および定期的な品質確認検査。ロジック、アナログ、ディスクリート、パワーデバイスなどのアプリケーション。>250nm~90nmクラスのデザインノード。
定量的な効果最短22分/マスクの高速検査
この書類が述べていない項目(14件)
相手先相手先の概要当社との関係契約金額提供価格契約締結日受賞名・認証名授与・認証機関登録番号・有効期限拠点所在地拠点の規模利用実績業績への影響出典

会社がこの書類で述べていない項目です。空欄にしたり、他の資料や推測で補ったりはしません。

会社が挙げている理由

会社自身の説明です。数値から推測したものではありません。

ロジック、アナログ、ディスクリート、パワーデバイスなどで幅広く使われるデザインノードのマスク検査において、高感度・短時間・低運用コストが求められているため。

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