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その他開示6920レーザーテック電機・精密

新製品 マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置 MAGICSシリーズM9750/M9751を発表

レーザーテックは、EUVマスクブランクスやサブストレートの微小欠陥を検査・レビューする新製品「MAGICSシリーズ M9750/M9751」を製品化した。従来モデルより検出感度と処理能力を高め、M9751ではモニターパターン検査にも対応した。

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発表された内容

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置 MAGICSシリーズ M9750/M9751
適用分野(この発表が対象とする用途)
EUVマスクブランクスの出荷検査マスクショップでの受入検査マスク製造プロセス管理EUVマスクブランクスやサブストレート上の微小欠陥の検査欠陥レビュー微小欠陥のサイジング
会社が数字で示したこと
利用実績

すでに多くの引き合いがあり、複数台の納入が決定

この発表で、会社は契約金額・提供価格・業績への影響のいずれにも触れていません。

発表された内容
項目内容
対象製品・サービス名マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置 MAGICSシリーズ M9750/M9751
適用分野EUVマスクブランクスの出荷検査、マスクショップでの受入検査、マスク製造プロセス管理、EUVマスクブランクスやサブストレート上の微小欠陥の検査、欠陥レビュー、微小欠陥のサイジング
利用実績すでに多くの引き合いがあり、複数台の納入が決定
この書類が述べていない項目(15件)
相手先相手先の概要当社との関係契約金額提供価格契約締結日提供開始日受賞名・認証名授与・認証機関登録番号・有効期限拠点所在地拠点の規模定量的な効果業績への影響出典

会社がこの書類で述べていない項目です。空欄にしたり、他の資料や推測で補ったりはしません。

会社が挙げている理由

会社自身の説明です。数値から推測したものではありません。

EUVマスクの微細化や新構造の適用により、マスクブランクス検査にさらなる高性能・高機能化が必要になったため。

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