FY2017に初出。。直近の記載はFY2017。
このテーマで動きを比べられる他社は、まだありません。
「「ＭＥＸ１５」は温度変化に強い門型構造や特殊な駆動機構（特許出願中）を採用することにより、テーブルの真直精度0.07μm、実加工による微細加工形状精度±0.5μｍを実現しました。更に、微細加工に必須なφ0.03mmの極細線ワイヤに対応した自動ワイヤ供給装置を搭載しております。」
この会社のほかの変遷で、同じ書類の中で同じ向きに2回以上動いたものはありません。