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その他開示4186東京応化工業素材・化学

Irresistible Materials社と東京応化工業株式会社 EUVリソグラフィの進展に向けた戦略的投資および共同開発パートナーシップを発表

東京応化工業がIrresistible Materials社に出資し、同社のEUVフォトレジスト「Multi-Trigger Resist(MTR™)」を共同開発・事業化する提携を締結した。MTRの開発を加速し、量産化と顧客導入の拡大を目指す。

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発表された内容

Multi-Trigger Resist(MTR™)EUVリソグラフィ向けフォトレジスト
適用分野(この発表が対象とする用途)
EUVリソグラフィ半導体製造ロジックデバイスメモリデバイス
契約締結日2026年2月24日
会社が数字で示したこと
定量的な効果

従来のポリマー系レジストと比べて最大10分の1の分子サイズ

相手先と当社の関係
東京応化工業4186
当社との関係

東京応化工業がIrresistible Materials社へ出資し、MTRの共同開発・事業化を行う戦略的パートナーシップ。

相手先Irresistible Materials, Ltd.

英国バーミンガムに本社を置き、半導体製造向け次世代EUVリソグラフィ用フォトレジストの開発を専門とする電子材料技術企業。MTRプラットフォームおよび関連技術について多数の登録特許を取得済みまたは出願中。

登録番号・有効期限

MTRプラットフォームおよび関連技術について多数の登録特許を取得済みまたは出願中(番号・有効期限は非開示)

拠点(この発表が示した場所)

英国バーミンガム(Irresistible Materials社本社)

この発表で、会社は契約金額・提供価格・業績への影響のいずれにも触れていません。

出典(会社が根拠として挙げた資料)

SPIE Advanced Lithography + Patterning Conferenceおよび同会議で発表予定の論文

発表された内容
項目内容
対象製品・サービス名Multi-Trigger Resist(MTR™)、EUVリソグラフィ向けフォトレジスト
相手先Irresistible Materials, Ltd.
相手先の概要英国バーミンガムに本社を置き、半導体製造向け次世代EUVリソグラフィ用フォトレジストの開発を専門とする電子材料技術企業。MTRプラットフォームおよび関連技術について多数の登録特許を取得済みまたは出願中。
当社との関係東京応化工業がIrresistible Materials社へ出資し、MTRの共同開発・事業化を行う戦略的パートナーシップ。
契約締結日2026年2月24日
適用分野EUVリソグラフィ、半導体製造、ロジックデバイス、メモリデバイス
登録番号・有効期限MTRプラットフォームおよび関連技術について多数の登録特許を取得済みまたは出願中(番号・有効期限は非開示)
拠点所在地英国バーミンガム(Irresistible Materials社本社)
定量的な効果従来のポリマー系レジストと比べて最大10分の1の分子サイズ
出典SPIE Advanced Lithography + Patterning Conferenceおよび同会議で発表予定の論文
この書類が述べていない項目(8件)
契約金額提供価格提供開始日受賞名・認証名授与・認証機関拠点の規模利用実績業績への影響

会社がこの書類で述べていない項目です。空欄にしたり、他の資料や推測で補ったりはしません。

会社が挙げている理由

会社自身の説明です。数値から推測したものではありません。

東京応化工業は、MTRが低NA・高NAのEUVリソグラフィに対応し、化学増幅型レジストや金属酸化物レジストを補完できる技術であること、ならびにIrresistible Materials社の技術、人材、知的財産を高く評価したため出資を決定した。

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