# 三フッ化塩素ガスによる半導体・MEMS微細加工技術｜岩谷産業（8088）の変遷

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## 経過

- FY2018 初出 「半導体製造装置のクリーニングガスとして広く利用されている三フッ化塩素ガスについても、大学との共同研究により、半導体や微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）の高精度な微細加工技術を開発し大手半導体メーカーに提案しています。」 — 大学との共同研究により、三フッ化塩素ガスを用いた半導体・MEMSの微細加工技術を開発し、大手半導体メーカーへ提案している。 (https://komori.app/company/8088/filing/2017-fy)