# リンテック（7966） 先端半導体向け材料「EUV露光機用ペリクル」の量産体制確立を加速

Source: Komori (komori.app) — https://komori.app/company/7966/disclosure/20240926589060
種別: その他開示
開示日: 2024-09-26
Komoriの読み（0-100）: 54
企業ページ: https://komori.app/company/7966

## 何が変わったか

リンテックグループは、産総研との共同研究などを通じて、EUV露光機用のCNT製ペリクルを量産できる見通しを立てた。2025年度内の量産体制確立に向け、研究開発と量産機の整備を進める。

## 会社が挙げた理由

2023年以降の要素技術の確立、産総研との共同研究、量産機の立ち上げなど、これまでの研究成果を踏まえて量産化の見通しが立ったため。

## 開示の要点

- 対象製品・サービス名: EUV露光機用ペリクル（CNT製ペリクル）
- 相手先: 国立研究開発法人産業技術総合研究所（産総研）
- 相手先の概要: 日本最大級の公的研究機関。経済および社会の発展に資する科学技術の研究開発を行い、社会課題解決と産業競争力強化をミッションとする。全国12か所の研究拠点、約2,300人の研究者を有する。
- 当社との関係: 2023年10月から、次世代半導体デバイス製造向けナノリソグラフィ要素技術について共同研究を推進している。
- 契約金額: not_disclosed
- 提供価格: not_disclosed
- 契約締結日: not_disclosed
- 提供開始日: 2025年度内（予定）：CNT製ペリクルの量産体制を確立予定
- 適用分野: 次世代半導体デバイス製造、EUV露光による半導体の微細回路形成
- 受賞名・認証名: not_disclosed
- 授与・認証機関: not_disclosed
- 登録番号・有効期限: not_disclosed
- 拠点所在地: 米国テキサス州、埼玉県さいたま市、埼玉県北足立郡
- 拠点の規模: not_disclosed
- 定量的な効果: not_disclosed
- 利用実績: not_disclosed
- 業績への影響: not_disclosed
- 出典: not_disclosed

## 評価の根拠

- この発表が扱う事柄は、どの段階にあるか。: 実施予定日あり（原文: 「「2025年度内の量産体制確立に向け、さらに取り組みを強化していきます」」）
- 契約の締結や機関決定について、どこまで書かれているか。: 合意の記載なし（原文: 「「産総研と量産化技術の共同研究を開始」」）
- 開始日・発売日・稼働日など、この事柄が効力を持つ時期はどこまで具体的に示されているか。: 年月まで（原文: 「「2025年度内の量産体制の確立」」）
- この発表は初出か、既に発表済みの取り組みの続報か、繰り返される事柄の今回分か。: 続報（原文: 「「2023年10月から…共同研究を推進しています」「これまで行ってきた研究成果を元に量産化の見通しが立ちました」」）
- 発表は、対象の事柄が起きる前か、同日か、起きた後か。: 事前の予告（原文: 「「2025年度内の量産体制確立に向け」」）
- 会社はこの内容をどれだけ断定的に書いているか。: 概ね断定的（原文: 「「量産化の見通しが立ちました」「2025年度内の量産体制の確立」」）
- 相手先はどのような主体として示されているか。: 官公庁・公的機関（原文: 「「国立研究開発法人産業技術総合研究所」」）
- 相手先は、この発表においてどの役割か。: 共同で行う相手（原文: 「「産総研と次世代半導体デバイス製造向けナノリソグラフィ要素技術の共同研究を行う」」）
- 相手先の所在地・資本金・事業内容など、会社概要が記載されているか。: あり（原文: 「「科学技術の研究開発を行う日本最大級の公的研究機関」「全国12か所の研究拠点で約2,300人の研究者」」）
- 相手先が当社の子会社・グループ会社・役員・大株主など、既存の関係先だと書かれているか。: なし（原文: 「「参画：国立研究開発法人産業技術総合研究所、リンテック株式会社…」」）
- 提供先・導入先・受注先の実名が示されているか。: なし（原文: 「該当する顧客名の記載なし」）
- この発表に付いている数値のうち、最も具体的なものはどれか。: 数値なし（原文: 「「2025年度内」「約2,300人の研究者」」）
- 示された数値は、どういう性質の数か。: 数値なし（原文: 「該当する事業数値の記載なし」）
- 書かれている主要な事実を、社外の資料で確かめる手段があるか。: 第三者の名称あり（原文: 「「国立研究開発法人産業技術総合研究所」「https://www.aist.go.jp/」」）
- 主要な主張に、検証できる数値と時期がついているか。: 定性的（原文: 「「量産化の見通しが立ちました」「2025年度内」」）
- 会社はこの件を、将来の収益にどう結びつけているか。: 収益の柱と位置づけ（原文: 「「半導体の生産性向上に貢献することができます」「早期の社会実装へとつなげていきます」」）
- 業績への影響について、どう書かれているか。: 業績に触れず（原文: 「業績への影響に関する記載なし」）
- この発表が扱っている事柄の種類はどれか。: 収益に直結（原文: 「「EUV露光機用ペリクルの第一次量産体制の構築」「早期の社会実装」」）
- この事柄はどこまでの広がりを持つと書かれているか。: 一事業・一セグメント（原文: 「「先端半導体向け材料」「アドバンストマテリアルズ事業部門」」）
- 会社の製品・サービスにとって、これはどういう新しさか。: 既存領域の新製品（原文: 「「独自開発したCNT製ペリクル」「量産体制の構築」」）
- 発表の中心にある製品・サービス・成果は、誰のものか。: 自社の製品（原文: 「「当社グループが独自開発したCNT製ペリクル」」）
- 発表の対象が当社本体ではなく、子会社・グループ会社の事柄か。: なし（原文: 「「リンテックグループは」「リンテック株式会社」」）
- 「初」「唯一」「No.1」などの優位性の主張があるか、あるとすれば根拠は示されているか。: 優位性の主張なし（原文: 「該当する優位性表現の記載なし」）
- この事柄の地理的な範囲はどこか。: 海外（原文: 「「米国・テキサス州の研究開発拠点」「米国・テキサス州のほか、国内の研究所」」）
- 実際に使われている・売れていることを示す記載はどの程度あるか。: 利用実績の記載なし（原文: 「実利用・導入実績に関する記載なし」）
- 競合製品や従来手法との違いが、具体的に述べられているか。: なし（原文: 「競合比較に関する記載なし」）
- 製品名・型番・規格名・特許や認証の番号など、後から特定できる固有の識別子が示されているか。: あり（原文: 「「先端半導体向け材料『EUV露光機用ペリクル』」「CNT製ペリクル」」）
- この書類はどの様式で書かれているか。: プレスリリース様式（原文: 「「リリース内容に関する報道関係者の方からのお問い合わせ」」）
- 評価を表す表現がどれだけ使われているか。: 一部に強調（原文: 「「量産体制確立に向けた取り組みを着実に推進」「研究開発の成果を結集」」）
- 前提条件・不確実性・将来見通しに関する注意書きが付されているか。: あり（原文: 「「2025年度内の量産体制確立に向け」」）