# 16x16mm大型結晶などの研究開発成果｜イーディーピー（7794）の変遷

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## 経過

- FY2022 達成 「研究開発活動の結果、当事業年度において、①16x16mm大型結晶の開発、②低抵抗Bドープの成長条件開発、③高品質結晶の開発、④大型基板研磨手法の開発について成果がありました。」 — 当事業年度の研究開発成果として、大型結晶、低抵抗Bドープ、高品質結晶、大型基板研磨を列挙している。 (https://komori.app/company/7794/filing/2021-fy)
- FY2023-Q1 前進 「研究開発活動の結果、当第１四半期累計期間において、①16x16mmの大型単結晶の試作、②大型基板研磨手法の開発、③建設中の島工場で使用する新型成長装置の成長条件の開発、④低抵抗Bドープの0.2mm厚基板の製作、について成果がありました。なお、既に16x16mmの大型単結晶の試作に成功し、当第１四半期累計期間において20x20mmの結晶に向けた基礎的な検討を進めました。」 — 16x16mm大型単結晶の試作成果を踏まえ、20x20mm結晶に向けた基礎検討、新型成長装置の成長条件開発、低抵抗Bドープ基板製作を進めた。 (https://komori.app/company/7794/filing/2022-q1)
- FY2023-Q2 前進 「研究開発活動の結果、当第２四半期累計期間において、①大型、高品質結晶の開発、②低抵抗Bドープ基板の量産化手法開発、③島工場で使用する新型成長装置の成長条件の開発について成果がありました。」 — 大型・高品質結晶、低抵抗Bドープ基板の量産化手法、島工場向け新型成長装置の成長条件について、当第2四半期累計期間の研究開発成果を記載している。また、20x20mm結晶に向けた基礎検討も継続している。 (https://komori.app/company/7794/filing/2022-q2)
- FY2023-Q3 前進 「既に16x16mmの大型単結晶の試作に成功しており、当第３四半期累計期間において、引き続き20x20mmの結晶開発に向けた成長装置の設計に関する基礎的な検討を進めました。その結果、成長面積の拡大を行っても、均一な板厚となるホルダー構造を開発することに成功しました。」 — 16x16mm大型単結晶の試作成功を踏まえ、20x20mm結晶向け成長装置設計の基礎検討を進めたほか、均一な板厚を実現するホルダー構造の開発に成功した。 (https://komori.app/company/7794/filing/2022-q3)
- FY2024-Q1 前進 「研究開発活動の結果、当第１四半期累計期間において、①宝石原石の成長条件の開発、②大型単結晶の開発、③低B濃度エピタキシャル成長層の成長条件、について成果がありました。当第１四半期累計期間において、引き続き20x20mmの結晶開発に向けた成長装置の設計に関する基礎的な検討を進めました。」 — 宝石原石の成長条件、大型単結晶、低B濃度エピタキシャル成長層で成果を記載し、20x20mm結晶に向けた成長装置設計の基礎検討も継続している。 (https://komori.app/company/7794/filing/2023-q1)
- FY2024-Q2 前進 「研究開発活動の結果、当第２四半期累計期間において、①宝石原石の成長条件の開発、②大型単結晶の開発、③研磨速度の高速化、について成果がありました。」 — 宝石原石の成長条件、大型単結晶、研磨速度の高速化について、第2四半期累計期間の研究開発成果を新たに記載している。 (https://komori.app/company/7794/filing/2023-q2)
- FY2024-Q3 前進 「また、砥石を使用する新しい研磨手法を開発し、粗研磨に利用できることが判明いたしました。これによって、大型の基板等においては、粗研磨の時間が従来の1/3程度まで短縮でき、研磨コストの低減が実現いたしました。」 — 新しい粗研磨手法を開発し、大型基板等の粗研磨時間を従来の1/3程度に短縮する成果を記載している。 (https://komori.app/company/7794/filing/2023-q3)
- FY2025-H1 前進 「2024年９月に、それまでは７x７mmが最大サイズであった低抵抗自立基板について、13x13mmまでの大型基板を商品化いたしました。」 — 研究開発成果として、低抵抗自立基板の大型化を実現し、13x13mm基板の商品化に到達している。 (https://komori.app/company/7794/filing/2024-h1)
- FY2025 前進 「この大型単結晶を開発するのには、２年以上の期間を要しました。」 — 30x30mm単結晶を世界最大級の製品として2025年2月に実用化し、2インチウエハ開発の基礎となる大型単結晶の開発成果を具体化している。 (https://komori.app/company/7794/filing/2024-fy)
- FY2026-H1 前進 「一方、量子センサーに係る開発は国内外で活発に行われており、この開発に必要な基板やエピタキシャル成長層のニーズは多岐に渡っております。これらのニーズに応えるため、当中間連結会計期間において、量子センサーに適用するための結晶欠陥（N-Vセンターと呼ばれる欠陥）を増加させた基板の供給も開始しました。」 — 量子センサー向けにN-Vセンターを増加させた基板の供給を中間連結会計期間に開始し、半導体・量子関連の研究開発成果を製品供給へ進めている。 (https://komori.app/company/7794/filing/2025-h1)
- 2026-05-22 前進 「50x50mm単結晶開発を進め、4インチウエハの実現を目指し、様々な手法を検討する。」 — 30x30mm単結晶に続く50x50mm単結晶の開発を、4インチウエハ実現に向けた具体的な研究課題として示している。 (https://komori.app/company/7794/disclosure/20260522544921)
- 2026-05-27 前進 「当社はこれらの問題を克服し、２インチウエハ用モザイク結晶の開発に成功し、２インチモザイクウエハを本年10月以降には量産に移す所存です。」 — モザイク結晶の応力・亀裂の問題を克服し、2インチモザイクウエハ用結晶の開発成功を記載している。 (https://komori.app/company/7794/disclosure/20260527550834)
- 2026-05-27 前進 「（１）サイズ：        53×53×1.2mm
（２）構成する単結晶数：   ４個（個別結晶は25×25mm以上の面積）
（３）表面研磨：       片面を研磨済み Ra≒5nm」 — 大型単結晶を横方向に接続したモザイク結晶について、53×53mm、4個構成、片面研磨済みという具体的な開発成果を示した。 (https://komori.app/company/7794/disclosure/20260527550849)
- FY2026 前進 「研究開発活動の結果、当連結会計年度において、①１インチウエハの量産体制確立、②大型モザイク結晶の開発、③50x50mm単結晶の開発、④カラーダイヤの開発、について成果がありました。」 — 研究開発成果として、1インチウエハの量産体制確立、大型モザイク結晶及び50x50mm単結晶の開発、カラーダイヤの開発を通期で明示している。 (https://komori.app/company/7794/filing/2025-fy)
- 2026-06-30 前進 「2026年5月にモザイク結晶が完成した。」 — 2インチモザイクウエハ開発について、年度末までの未達を経て、2026年5月にモザイク結晶完成へ進展した。 (https://komori.app/company/7794/disclosure/20260626581593)