# EUV検査用光源事業の推進｜ウシオ電機（6925）の変遷

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## 経過

- FY2017 初出 「装置事業の光学装置分野においては、新たなＥＵＶ検査用光源事業を着実に推進するとともに、ＩｏＴなどの進展による露光装置などの投資機会を着実に捉え拡大してまいります。」 — 光学装置分野の新たな成長機会として、EUV検査用光源事業の推進が初めて明記されている。 (https://komori.app/company/6925/filing/2016-fy)
- FY2019 前進 「その実現に必須となるSn LDP方式のEUV光源（従来のXe方式と比較して約50倍の輝度）の開発を進めています。また、量産ライン向けであることから高信頼性開発にも取り組んでいます。」 — マスク検査用EUV光源について、Sn LDP方式、従来方式比約50倍の輝度、高信頼性開発という技術要件を伴う研究開発が進められている。 (https://komori.app/company/6925/filing/2018-fy)
- FY2020 前進 「今後も、当社のEUV光源はニーズを先取りする形で、更なる高輝度化、高安定化に加え、安定稼働の実現を目指して継続的な研究開発を進めていきます。」 — EUVマスク検査用光源について、実用化への貢献と販売増加を踏まえ、高輝度化・高安定化・安定稼働に向けた継続開発が示されている。 (https://komori.app/company/6925/filing/2019-fy)
- FY2021-Q2 前進 「ＥＵＶリソグラフィ技術進展による次世代半導体の量産ニーズの高まりにより、ＥＵＶリソグラフィマスク検査用ＥＵＶ光源の販売が増加しました。」 — EUV検査用光源事業について、次世代半導体の量産ニーズを背景に販売増加が記載され、研究開発・事業化から販売拡大へ進展している。 (https://komori.app/company/6925/filing/2020-q1)
- FY2021-Q3 再掲 「また、ＥＵＶリソグラフィ技術進展による次世代半導体の量産ニーズの高まりにより、ＥＵＶリソグラフィマスク検査用ＥＵＶ光源の販売が増加しました。」 — EUV検査用光源について、次世代半導体の量産ニーズを背景とした販売増加が続いている。 (https://komori.app/company/6925/filing/2020-q2)
- FY2021 前進 「2021年２月のＳＰＩＥ学会や４月のPhoto Mask Japanにて当社ＥＵＶ光源の発表を実施しましたように、当社のＥＵＶ光源はエンドユーザーの量産初期条件を満たす高い安定稼働と充分な性能を達成することができました。」 — EUVマスク検査用光源について、エンドユーザーの量産初期条件を満たす安定稼働と性能を達成したと説明され、事業化・販売拡大から量産初期対応の段階へ進展した。 (https://komori.app/company/6925/filing/2020-fy)
- FY2022-Q1 前進 「また、ＥＵＶリソグラフィ技術進展による次世代半導体の量産ニーズの高まりにより、ＥＵＶリソグラフィマスク検査用ＥＵＶ光源の販売が増加しました。」 — EUV検査用光源事業は、次世代半導体の量産ニーズを背景に販売増加が続き、事業化・販売拡大が進展している。 (https://komori.app/company/6925/filing/2021-q1)
- FY2022-Q2 再掲 「また、ＥＵＶリソグラフィ技術進展による次世代半導体の量産ニーズの高まりにより、ＥＵＶリソグラフィマスク検査用ＥＵＶ光源の販売が増加しました。」 — EUV検査用光源は、次世代半導体の量産ニーズを背景に販売増加が続いており、事業化・販売拡大の動きが再確認されている。 (https://komori.app/company/6925/filing/2021-q2)
- FY2022-Q3 再掲 「また、ＥＵＶリソグラフィ技術進展による次世代半導体の量産ニーズの高まりにより、ＥＵＶリソグラフィマスク検査用ＥＵＶ光源関連の販売が増加しました。」 — EUVマスク検査用光源関連の販売増加が続き、次世代半導体の量産ニーズを背景とする事業化・販売拡大が再確認されている。 (https://komori.app/company/6925/filing/2021-q3)
- FY2022 その他 「一方で、ＥＵＶリソグラフィマスク検査用ＥＵＶ光源については、2023年３月期において、主要部材等の調達の長納期化などの影響から、一時的な調整局面を迎え、販売は想定を下回り推移することが見込まれています。」 — EUV検査用光源は当期まで販売が想定通り推移した一方、2023年3月期は主要部材の長納期化により一時的な調整局面と販売計画下振れが見込まれている。 (https://komori.app/company/6925/filing/2021-fy)
- FY2023-Q1 その他 「また、ＥＵＶリソグラフィマスク検査用ＥＵＶ光源については、前期以前に販売した光源の稼働が好調に推移したことから保守メンテナンスの販売は増加したものの、光源の販売は需要の一時的な調整局面にあり減少しました。」 — EUV検査用光源は既販売光源の保守メンテナンスが増加する一方、光源本体の販売は需要の一時的な調整局面により減少した。 (https://komori.app/company/6925/filing/2022-q1)
- FY2023-Q2 再掲 「また、ＥＵＶリソグラフィマスク検査用ＥＵＶ光源については、前期以前に販売した光源の稼働が好調に推移したことから保守メンテナンスの販売は増加したものの、光源の販売は需要の一時的な調整局面にあり減少しました。」 — EUV検査用光源は、既販売品の保守メンテナンス販売が増加する一方、光源本体の販売は一時的な需要調整により減少している。 (https://komori.app/company/6925/filing/2022-q2)
- FY2023-Q3 再掲 「また、ＥＵＶリソグラフィマスク検査用ＥＵＶ光源については、前期以前に販売した光源の稼働が好調に推移したことから保守メンテナンスの販売は増加したものの、光源の販売は需要の一時的な調整局面にあり減少しました。」 — EUVマスク検査用光源では、既販売品の保守メンテナンス販売が増加する一方、光源本体の販売は一時的な需要調整により減少している。 (https://komori.app/company/6925/filing/2022-q3)
- FY2023 その他 「当社のEUV光源はエンドユーザーの量産条件を満たす高い安定稼働と充分な性能を達成いたしました。今後も開発投資を継続し、高性能、高安定稼働などの技術優位性の維持・向上に注力すると共に、交換パーツの寿命延長などの更なるランニングコスト低減を目指します。」 — 量産条件を満たす性能・安定稼働を確認し、開発投資を継続する一方、当期はEUV光源本体の販売が一時的な需要調整で減少し、保守メンテナンスは増加した。 (https://komori.app/company/6925/filing/2022-fy)
- FY2024-Q1 再掲 「主に、EUVリソグラフィマスク検査用EUV光源において、前期に販売した案件のメンテナンスが増加したことにより、保守メンテナンスサービスの販売が増加し、増収となりました。」 — EUV光源本体の需要調整局面に対し、前期販売案件の保守メンテナンスサービスが増加する構図が第1四半期でも確認された。 (https://komori.app/company/6925/filing/2023-q1)
- FY2024-Q2 再掲 「主に、EUVリソグラフィマスク検査用EUV光源において、前期に販売した案件のメンテナンスが増加したことにより、保守メンテナンスサービスの販売が増加し、増収となりました。」 — EUV光源本体の需要調整に対し、前期販売案件の保守メンテナンスサービスが増加する構図が続いている。 (https://komori.app/company/6925/filing/2023-q2)
- FY2024 再掲 「当社のEUV光源はエンドユーザーの量産条件を満たす高い安定稼働と充分な性能を達成しています。今後も開発投資を継続し、更なる高性能、高安定稼働などの技術優位性の維持・向上に注力すると共に、更なるランニングコスト低減を目指します。」 — EUV光源は量産条件を満たす性能・安定稼働を前提に、開発投資、高性能化、高安定稼働、ランニングコスト低減を継続する方針が再確認された。 (https://komori.app/company/6925/filing/2023-fy)
- FY2025-H1 その他 「フラットパネルディスプレイ向けで光配向装置などの販売は増加しましたが、EUVリソグラフィマスク検査用EUV光源の稼働低下により保守メンテナンスサービス収入が減少し、減収となりました。」 — EUV検査用光源事業では、光源の稼働低下により保守メンテナンスサービス収入が減少した。一方、光配向装置などの販売は増加した。 (https://komori.app/company/6925/filing/2024-h1)
- FY2026-H1 その他 「EUVリソグラフィマスク検査用EUV光源の保守メンテナンスサービス収入が減少したほか、フラットパネルディスプレイ向けの光配向装置の販売が減少し、減収となりました。」 — EUV光源の稼働低下を背景とする保守メンテナンス収入の減少が続き、光配向装置の販売減少も重なった。 (https://komori.app/company/6925/filing/2025-h1)
- 2026-05-14 後退 「一方で、EUV事業においては現在稼働中のEUVマスク検査用光源の一部終息判断に伴いメンテナンス収入は減少する見込みですが、光学装置事業全体では増収となる見込みです。」 — EUV事業では、稼働中の光源の一部終息判断により、将来のメンテナンス収入が減少する見通しが示された。 (https://komori.app/company/6925/disclosure/20260423509670)
- FY2026 再定義 「収益効率が低下していたEUV事業の一部終息を決定しました。稼働中のEUV光源は2026年度中に稼働終了の見込みです。今後は、主に半導体検査等における新規用途に特化したR&Dを継続します。」 — EUV光源事業は一部を終息し、稼働中光源を2026年度中に終了する一方、半導体検査等の新用途に研究開発を絞る方向へ再整理された。 (https://komori.app/company/6925/filing/2025-fy)
- 2026-11-06 悪化 「EUVリソグラフィマスク検査用EUV光源に関する保守メンテナンスサービス収入が、一部光源の稼働停止により減少し、減収となりました。」 — 一部光源の稼働停止により、EUV光源の保守メンテナンスサービス収入の減少が続いている。 (https://komori.app/company/6925/disclosure/20261001544734)