# 新製品投入と検査・測定装置ラインアップの拡充｜レーザーテック（6920）の変遷

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## 経過

- FY2016 初出 「当連結会計年度における研究開発の成果として発売された新製品は次のとおりであります。」 — SICA88、EZ300、MPM365gh、LBISシリーズなどを発売。SICA88では既存機種比でスループットを2倍に高めたと記載している。 (https://komori.app/company/6920/filing/2015-fy)
- FY2017 前進 「当連結会計年度における研究開発の成果として発売された新製品は次のとおりであります。」 — LX530、M8650／M8651、ABICS E120を発売・製品化した。M8650／M8651では従来機比でビーム本数を倍増し検査時間を2分の1、高密度スキャンにより1.5倍の高感度を実現している。 (https://komori.app/company/6920/filing/2016-fy)
- FY2018 前進 「当連結会計年度における研究開発の成果として発売された新製品は次のとおりであります。」 — 第10.5世代FPD向けCLIOS G10シリーズ、GaNウェハ向けGALOISシリーズ、EUV・従来フォトマスク対応のMATRIX X8 ULTRAシリーズを発売・製品化した。CLIOS G10では検査時間を従来モデル比3割削減した。 (https://komori.app/company/6920/filing/2017-fy)
- FY2019 前進 「「マスクブランクス欠陥検査／レビュー装置　ＭＡＧＩＣＳシリーズ　Ｍ９６５０／Ｍ９６５１」」 — M9650/M9651を新製品として開発し、5nm世代以降のマスクブランクスやEUVマスクブランクス用サブストレートへの対応、高感度検出、高スループットを示した。 (https://komori.app/company/6920/filing/2018-fy)
- FY2020 前進 「新たに開発したＥＵＶマスク欠陥検査装置ＡＣＴＩＳ「Ａ１５０」は、長年培ったマスクパターン検査技術とＥＵＶ光による検査技術を利用した世界初のＥＵＶパターンマスク欠陥検査装置です。」 — ACTIS A150を新製品として開発し、従来のEUVマスクブランクス・パターン検査製品群に新たな装置を加えた。 (https://komori.app/company/6920/filing/2019-fy)
- FY2021 前進 「マスクエッジ検査装置「ＭＺ１００」は、ＥＵＶおよびＤＵＶマスクのエッジ部における高感度検査、レビュー、計測を可能にした装置です。」 — EUV・DUVマスクのエッジ部を対象とする新製品MZ100を発売し、マスクエッジの検査・レビュー・計測という新たな機能領域へ製品ラインアップを拡張した。 (https://komori.app/company/6920/filing/2020-fy)
- FY2022 前進 「当連結会計年度における研究開発の成果として発売された新製品は次のとおりです。」 — CLIOS G834Advance、CLIOS G800LITE、OPTELICS AI²、MATRICS X9ULTRAを新製品として発売し、FPDマスク、コンフォーカル顕微鏡、EUVマスク検査へ製品ラインアップを拡張した。 (https://komori.app/company/6920/filing/2021-fy)
- FY2023 前進 「当連結会計年度における研究開発の成果として発売された新製品は次のとおりです。」 — 新製品としてCIRIUSシリーズとCIELシリーズを発売し、半導体内部欠陥検査・ウェハエッジ検査の製品ラインアップを拡張した。 (https://komori.app/company/6920/filing/2022-fy)
- FY2024 前進 「当連結会計年度における研究開発の成果として発売された新製品は次のとおりです。
「高輝度EUVプラズマ光源　URASHIMA」
「アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置　ACTIS A300シリーズ」
「ビア深さ測定装置　VIANCAシリーズ」」 — URASHIMA、ACTIS A300シリーズ、VIANCAシリーズを新製品として発売し、EUV光源・EUVマスク検査・HBM関連計測へ製品ラインアップを拡張した。 (https://komori.app/company/6920/filing/2023-fy)
- FY2025 前進 「当連結会計年度における研究開発の成果として発売された新製品は次のとおりです。
「EUV マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置　ABICS E320シリーズ」
「EUV ペリクル異物検査装置　PELMISシリーズ」
「SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置　SICA108シリーズ」
「IR コンフォーカルマイクロスコープ　OPTELICS IR」
「電気化学反応可視化コンフォーカルシステム ECCS B520」」 — EUV、SiCウェハ、アドバンスドパッケージング、全固体電池の研究・検査領域で、5製品・シリーズを新たに発売し、製品ラインアップを拡張した。 (https://komori.app/company/6920/filing/2024-fy)
- 2026-03-31 前進 「この度、レーザーテックはマスクショップおよびウェハファブの検査ニーズに対応するマスク欠陥検査装置 MATRICS X712 シリーズを製品化いたしました。」 — マスク欠陥検査装置の新シリーズを製品化し、検査・測定装置のラインアップを拡充した。CANONICAL THREADSは変更していない。 (https://komori.app/company/6920/disclosure/20260325588887)
- FY2026 前進 「当連結会計年度の研究開発の成果として発売された新製品は次のとおりです。
「EUVペリクル異物検査装置　PELMISシリーズ EPM200」
「アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置　ACTIS A200HiTシリーズ」
「超短パルスレーザー励起顕微鏡 OPTELICS UXM」
「マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置　MAGICSシリーズ M9750/M9751」
「マスク欠陥検査装置 MATRICS X712 シリーズ」」 — EUVペリクル、EUVパターンマスク、WBGウェハ、マスクブランクス、一般マスクの各領域で5製品・シリーズを投入し、製品ラインアップを拡張した。 (https://komori.app/company/6920/filing/2025-fy)