# フェーズⅢにおけるEUVL新製品・ウェハ新規事業の業績貢献｜レーザーテック（6920）の変遷

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## 経過

- FY2016 初出 「当社は、平成31年6月期からの３カ年をフェーズⅢと新たに位置付け、この時期にＥＵＶＬ関連の新製品やウェハ関連の新規事業を大きく業績へ貢献させることで、飛躍を目指してまいります。」 — 平成31年6月期からの3年間をフェーズⅢとし、EUVL関連製品とウェハ関連新規事業の大きな業績貢献を掲げる。 (https://komori.app/company/6920/filing/2015-fy)
- FY2017 前進 「この度、当社は共同研究で開発したＡＢＩ装置の技術を適用し、ＥＵＶ量産に対応した新たなＥＵＶマスクブランクス欠陥検査／レビュー装置ＡＢＩＣＳ　Ｅ１２０を製品化いたしました。」 — EUVマスクブランクス欠陥検査／レビュー装置ABICS E120を製品化し、フェーズⅢでのEUV関連新製品の業績貢献に向けた具体的な製品化段階へ進んだ。 (https://komori.app/company/6920/filing/2016-fy)
- FY2018 前進 「ＭＡＴＲＩＣＳ　Ｘ８ＵＬＴＲＡシリーズは、デザインノード７nm～５nmのＥＵＶマスク及び従来のフォトマスク両方に対応できる半導体マスク検査装置であり、ピクセルサイズ45nm、ハイパワー213nmＱＣＷレーザー（>400mW）、及び２種類の偏光照明により、高感度化を達成しました。」 — EUV関連の新製品について、7nm～5nm世代への対応や45nmピクセルサイズなど、具体的な製品仕様を伴う製品化段階へ進んだ。 (https://komori.app/company/6920/filing/2017-fy)
- FY2019 前進 「設計ルール５nm世代以降の最先端マスクブランクスをはじめとし、ＥＵＶマスクブランクスの母材となるサブストレートなどの微小欠陥を高感度で検出できるＭ９６５０／Ｍ９６５１を開発しました。」 — EUVマスクブランクス関連を含むM9650/M9651を開発し、フェーズⅢの新規事業収穫に向けた製品展開を進めた。 (https://komori.app/company/6920/filing/2018-fy)
- FY2020 前進 「新たに開発したＥＵＶマスク欠陥検査装置ＡＣＴＩＳ「Ａ１５０」は、長年培ったマスクパターン検査技術とＥＵＶ光による検査技術を利用した世界初のＥＵＶパターンマスク欠陥検査装置です。」 — EUV関連新製品として、世界初のEUVパターンマスク欠陥検査装置ACTIS A150を開発・製品化し、新規事業の具体的な製品展開を進めた。 (https://komori.app/company/6920/filing/2019-fy)
- FY2021 前進 「フェーズ３の期間には、ロジック・メモリデバイスメーカーによるＥＵＶ（極端紫外線）リソグラフィの導入が本格化し、フェーズ２までに種蒔きをしたＥＵＶ関連製品の市場が急拡大して、当社グループの成長に大きく寄与し始めました。」 — EUV関連製品について、市場拡大を背景に成長への寄与が始まったと明示し、従来の製品開発・投入段階から業績貢献段階へ進展した。 (https://komori.app/company/6920/filing/2020-fy)
- FY2022 前進 「「MATRICS X9ULTRA」は、2018年に発売し、ペリクル非装着ＥＵＶマスクの検査装置として大変ご好評を頂いているX8ULTRAシリーズの次世代機種です。新たに自社開発したハイパワー193nmレーザー光源および高ＮＡ対物レンズを搭載する事により、従来機よりもさらに微小異物検出性能を向上し、テクノロジーノード3nm以降のペリクル非装着ＥＵＶマスクに特化したマスク検査システムとなっております。」 — EUVマスク検査について、3nm以降の世代に対応するMATRICS X9ULTRAを投入し、最先端領域向けの製品展開を進めた。 (https://komori.app/company/6920/filing/2021-fy)
- FY2024 前進 「「アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置　ACTIS A300シリーズ」
「A300」は、新たに設計された光学系や高輝度光源「URASHIMA」を採用し、従来のA150シリーズと比較して非常に高い欠陥検出性能を実現しました。High-NAリソグラフィではXY方向の投影倍率が異なるアナモルフィック光学系が採用され、それぞれの方向で異なる解像度が求められます。A300シリーズは現行のNAリソグラフィ向けとHigh-NAリソグラフィ向け、両方のEUVマスク検査に対応しています。」 — EUV関連では、高輝度光源URASHIMAを採用したACTIS A300シリーズを投入し、現行NAとHigh-NAの双方に対応する製品展開へ進んだ。 (https://komori.app/company/6920/filing/2023-fy)
- FY2025 前進 「「EUV マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置　ABICS E320シリーズ」
「E320」は、新たに設計した高倍率シュバルツシルト光学系の採用と照明光学系の最適化により、従来機の「E120」と比べて、EUVマスクブランクス検査における高い欠陥検出感度と欠陥座標精度を実現しました。
「EUV ペリクル異物検査装置　PELMISシリーズ」」 — EUV関連では、ABICS E320シリーズをE120の後継・高性能機として投入し、さらにEUVペリクル異物検査装置PELMISシリーズを製品化した。 (https://komori.app/company/6920/filing/2024-fy)
- FY2026 前進 「「EUVペリクル異物検査装置　PELMISシリーズ EPM200」
「アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置　ACTIS A200HiTシリーズ」」 — EUVペリクル異物検査の最新モデルEPM200と、スループットを大幅に向上させたACTIS A200HiTシリーズを投入した。 (https://komori.app/company/6920/filing/2025-fy)