# ウエハ搬送用ロボットの開発｜ダイヘン（6622）の変遷

Source: Komori (komori.app) — https://komori.app/company/6622/threads/bddf37117e43
企業ページ: https://komori.app/company/6622

## 経過

- FY2021 初出 「半導体製造プロセスにおいて必要とされる多層・微細加工を小型かつ省電力で実現する高周波電源システムの開発に取り組むとともに、世界最速・高精度・低振動を実現するウエハ搬送用ロボットの開発を進めました。」 — 半導体製造プロセス向けの新たな開発テーマとして、世界最速・高精度・低振動を目指すウエハ搬送用ロボットを初めて記載している。 (https://komori.app/company/6622/filing/2020-fy)
- FY2025 前進 「FOPLPなどの先端パッケージ向けに省スペース化を実現する真空搬送用のスカラアーム型ロボット及び低振動、低床・高ストローク型大気ロボットの開発に取り組みました。」 — ウエハ搬送用ロボットの開発を、FOPLPなど先端パッケージ向けの真空搬送・大気搬送ロボットへ具体化している。 (https://komori.app/company/6622/filing/2024-fy)