# オキサイド（6521） 先端半導体市場の微細加工ニーズを対象とした深紫外フェムト秒レーザ開発の進展について

Source: Komori (komori.app) — https://komori.app/company/6521/disclosure/20260818522597
種別: その他開示
開示日: 2026-08-18
Komoriの読み（0-100）: 62
企業ページ: https://komori.app/company/6521

## 何が変わったか

オキサイドは、Fluence社との業務提携に基づく深紫外フェムト秒レーザの開発で、波長258nmにおける主要性能データを取得した。平均出力4W超、最大パルスエネルギー25μJ超、パルス幅500fs以下、ビーム品質M²＜1.3、1,000時間超の連続運転を確認している。

## 会社が挙げた理由

波長変換光学系を改良し、深紫外域で高出力化とビーム品質維持を両立するとともに、長期安定動作に関する基本性能と信頼性の基礎データを確認したため。

## 開示の要点

- 対象製品・サービス名: 深紫外フェムト秒レーザ（開発中）
- 相手先: Fluence Technology Sp. z o.o.
- 相手先の概要: 本社：ポーランド ワルシャワ。超短パルスレーザ技術、高出力フェムト秒レーザ技術を有する企業。その他の会社属性はnot_disclosed。
- 当社との関係: 2026年4月に業務提携。Fluence社の高出力フェムト秒レーザ技術と当社の波長変換技術を組み合わせ、製品化を目指す。
- 契約金額: not_disclosed
- 提供価格: not_disclosed
- 契約締結日: 2026年4月（業務提携の発表時期。契約締結日の具体的な日付はnot_disclosed）
- 提供開始日: not_disclosed
- 適用分野: 先端半導体市場の精密微細加工、半導体パッケージ、ガラス材料、SiC、サファイア、Micro LED、有機材料
- 受賞名・認証名: not_disclosed
- 授与・認証機関: not_disclosed
- 登録番号・有効期限: not_disclosed
- 拠点所在地: 山梨県北杜市武川町牧原1747番地1（本社・工場）、神奈川県横浜市保土ヶ谷区（事業所）
- 拠点の規模: not_disclosed
- 定量的な効果: 平均出力4W超、最大パルスエネルギー25μJ超、パルス幅500fs以下、ビーム品質M²＜1.3、1,000時間超の連続運転
- 利用実績: not_disclosed
- 業績への影響: not_disclosed
- 出典: not_disclosed

## 評価の根拠

- この発表が扱う事柄は、どの段階にあるか。: 実証・試験段階（原文: 「「深紫外フェムト秒レーザ（開発中）」「今後は、今回得られた基礎データをもとに…各種材料を加工対象とする…技術的優位性を…検証してまいります」」）
- 契約の締結や機関決定について、どこまで書かれているか。: 基本合意まで（原文: 「「2026年4月に発表したFluence Technology Sp. z o.o.との業務提携に基づき」」）
- 開始日・発売日・稼働日など、この事柄が効力を持つ時期はどこまで具体的に示されているか。: 年月日まで（原文: 「「2026年8月19日から22日まで」」）
- この発表は初出か、既に発表済みの取り組みの続報か、繰り返される事柄の今回分か。: 続報（原文: 「「2026年4月に発表した…業務提携に基づき…開発を進めております」「このたび…主要な性能データを取得しました」」）
- 発表は、対象の事柄が起きる前か、同日か、起きた後か。: 事後の報告（原文: 「「主要な性能データを取得しました」「1,000時間を超える連続運転を達成し」」）
- 会社はこの内容をどれだけ断定的に書いているか。: 概ね断定的（原文: 「「実現しました」「達成し」／「製品化を目指しています」「検証してまいります」」）
- 相手先はどのような主体として示されているか。: 社名あり · 非上場（原文: 「「Fluence Technology Sp. z o.o.（本社：ポーランド ワルシャワ）」」）
- 相手先は、この発表においてどの役割か。: 共同で行う相手（原文: 「「Fluence社が有する高出力フェムト秒レーザ技術と、当社が培ってきた波長変換技術を組み合わせ」」）
- 相手先の所在地・資本金・事業内容など、会社概要が記載されているか。: あり（原文: 「「本社：ポーランド ワルシャワ」「超短パルスレーザ技術を有するFluence社」」）
- 相手先が当社の子会社・グループ会社・役員・大株主など、既存の関係先だと書かれているか。: なし（原文: 「「Fluence社との業務提携」」）
- 提供先・導入先・受注先の実名が示されているか。: なし（原文: 「顧客名・導入先名に関する記載なし」）
- この発表に付いている数値のうち、最も具体的なものはどれか。: 効果の実測値（原文: 「「平均出力4W超、最大パルスエネルギー25μJ超、パルス幅500fs以下、ビーム品質M²＜1.3」「1,000時間を超える連続運転」」）
- 示された数値は、どういう性質の数か。: 時点の値（原文: 「「今回…主要な性能データを取得しました」「1,000時間を超える連続運転を達成」」）
- 書かれている主要な事実を、社外の資料で確かめる手段があるか。: 第三者の名称あり（原文: 「「Fluence Technology Sp. z o.o.」「Laser＆Photonics Taiwan」「https://laserexpo.chanchao.com.tw/en」」）
- 主要な主張に、検証できる数値と時期がついているか。: 数値と時期あり（原文: 「「平均出力4W超…」「2026年8月19日から22日まで」」）
- 会社はこの件を、将来の収益にどう結びつけているか。: 収益の柱と位置づけ（原文: 「「製品化を目指しています」「産業応用に向け」」）
- 業績への影響について、どう書かれているか。: 業績に触れず（原文: 「業績影響に関する記載なし」）
- この発表が扱っている事柄の種類はどれか。: 収益に直結（原文: 「「微細加工に適用可能な深紫外フェムト秒レーザの製品化を目指しています」」）
- この事柄はどこまでの広がりを持つと書かれているか。: 一拠点・一製品（原文: 「「深紫外フェムト秒レーザ（開発中）」」）
- 会社の製品・サービスにとって、これはどういう新しさか。: 既存領域の新製品（原文: 「「深紫外フェムト秒レーザの製品化を目指しています」」）
- 発表の中心にある製品・サービス・成果は、誰のものか。: 他社との共同（原文: 「「Fluence社が有する…技術と、当社が培ってきた…技術を組み合わせ」」）
- 発表の対象が当社本体ではなく、子会社・グループ会社の事柄か。: なし（原文: 「「株式会社オキサイド…は…開発を進めております」」）
- 「初」「唯一」「No.1」などの優位性の主張があるか、あるとすれば根拠は示されているか。: 根拠なしの優位性主張（原文: 「「世界トップクラスの性能水準に位置付けられるものです」」）
- この事柄の地理的な範囲はどこか。: 海外（原文: 「「本社：ポーランド ワルシャワ」「台北南港展覧会で開催される『Laser＆Photonics Taiwan』」」）
- 実際に使われている・売れていることを示す記載はどの程度あるか。: 利用実績の記載なし（原文: 「「開発中」「紹介予定」」）
- 競合製品や従来手法との違いが、具体的に述べられているか。: あり（原文: 「「現状のフェムト秒レーザを深紫外域へ短波長化」「両立が困難である高出力化とビーム品質維持」」）
- 製品名・型番・規格名・特許や認証の番号など、後から特定できる固有の識別子が示されているか。: あり（原文: 「「波長258nm」「深紫外フェムト秒レーザ」」）
- この書類はどの様式で書かれているか。: プレスリリース様式（原文: 「「本件に関する問い合わせ先」「会社概要：株式会社オキサイド」」）
- 評価を表す表現がどれだけ使われているか。: 一部に強調（原文: 「「重要な技術的進展」「世界トップクラスの性能水準」」）
- 前提条件・不確実性・将来見通しに関する注意書きが付されているか。: あり（原文: 「「深紫外フェムト秒レーザ（開発中）」「今後は…信頼性の向上」「技術的優位性を…検証してまいります」」）