# ArFエキシマレーザーGT65Aの性能向上と市場投入｜小松製作所（6301）の変遷

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## 経過

- FY2017 初出 「2017年２月、ギガフォトン㈱は、米国で開催された先端露光の国際シンポジウム「SPIE Advanced Lithography 2017」において、液浸露光（リソグラフィ）プロセスの微細化サポートと環境負荷低減を同時に実現する最先端のArFエキシマレーザー「GT65A」を発表し、本年内の出荷を目指している。」 — 微細化支援と環境負荷低減を両立するArFエキシマレーザーを発表し、当年内の出荷目標を示している。 (https://komori.app/company/6301/filing/2016-fy)