# EUV光源の早期商品化｜小松製作所（6301）の変遷

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## 経過

- FY2016 初出 「また、ギガフォトン㈱において最先端の半導体リソグラフィ用EUV(Extreme Ultraviolet:極端紫外)光源の早期商品化に努める。」 — 半導体関連事業の成長施策として記載されている。 (https://komori.app/company/6301/filing/2015-fy)
- FY2017 再掲 「その他には、半導体製造業向けの液浸露光装置用ArFエキシマレーザーの性能向上及び次世代露光装置用EUV光源、高性能温調機器とその要素である高性能サーモモジュール熱交換ユニット、光通信用向けの超小型サーモモジュール及び熱電発電モジュールとそのシステムに関する研究開発などを推進した。」 — EUV光源の研究開発を含む半導体関連技術の開発方針を継続している。 (https://komori.app/company/6301/filing/2016-fy)
- FY2018 再掲 「その他には、半導体露光装置用エキシマレーザ及びEUV光源、FPDアニール装置用エキシマレーザ、半導体製造業向けの高性能温調機器とその要素である高性能サーモモジュール熱交換ユニット、光通信用向けの超小型サーモモジュール及び熱電発電モジュールとそのシステムに関する研究開発などを推進した。」 — EUV光源を含む半導体関連技術の研究開発方針を継続している。 (https://komori.app/company/6301/filing/2017-fy)
- FY2019 再掲 「その他には、半導体露光装置用エキシマレーザ及びEUV光源、FPDアニール装置用及び半導体基板小径加工用エキシマレーザ、半導体製造業向けの高性能温調機器とその要素である高性能サーモモジュール熱交換ユニット、光通信用向けの超小型サーモモジュール及び熱電発電モジュールとそのシステムに関する研究開発などを推進した。」 — EUV光源を含む半導体・温調・熱電関連技術の研究開発を継続している。 (https://komori.app/company/6301/filing/2018-fy)
- FY2020 再掲 「その他には、半導体露光装置用エキシマレーザ、EUV光源、半導体基板小径加工用エキシマレーザ、半導体製造業向けの高性能温調機器とその要素である高性能サーモモジュール熱交換ユニット、光通信用向けの超小型サーモモジュール及び熱電発電モジュールとそのシステムに関する研究開発などを推進した。」 — EUV光源を含む半導体・温調・熱電関連技術の研究開発を継続している。 (https://komori.app/company/6301/filing/2019-fy)
- FY2023-Q3 前進 「ギガフォトン㈱では、世界各国におけるリソグラフィ用光源のフィールドサポート体制の更なる強化を目指し、エンジニアの育成及び強化を目的としたトレーニング設備増強を進めました。」 — リソグラフィ用光源事業について、世界各国のフィールドサポート体制強化に向け、エンジニア育成用トレーニング設備の増強を進めた。 (https://komori.app/company/6301/filing/2022-q3)