# 超高真空常温接合装置による高機能複合ウェハ事業｜マイポックス（5381）の変遷

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## 経過

- FY2020 初出 「主な内容は、超高真空常温接合装置の取得186百万円」 — 各種ウェハの接合処理サービスを目的に装置を導入し、既存の研磨技術と常温接合技術を組み合わせて、高機能複合ウェハ、受託研磨事業の拡大、ウェハ製造等の新事業確立を目指している。 (https://komori.app/company/5381/filing/2019-fy)
- FY2021-Q3 再掲 「当第３四半期連結累計期間において、当社グループの優先的に対処すべき事業上及び財務上の課題に重要な変更及び新たに生じた課題はありません。」 — 高機能複合ウェハや受託研磨事業の拡大を含む優先課題について、重要な変更や新たな課題はないとしている。 (https://komori.app/company/5381/filing/2020-q3)
- FY2021 前進 「また、昨期導入した常温接合装置を活用した新規受託獲得の開発も行い、高機能セラミックス材料を中心に、常温接合向けの研磨加工技術開発も行いました。」 — 導入済みの常温接合装置を活用した新規受託獲得、高機能セラミックス材料向けの研磨加工技術開発を進めている。 (https://komori.app/company/5381/filing/2020-fy)
- FY2022 前進 「また、研磨加工工程の後に控える常温接合プロセスとの組合せも図り、トータルで市場の期待に応えられるワンストップ体制で臨んでおります。」 — 常温接合装置を活用した新規受託獲得・研磨加工技術開発を、研磨後工程との組み合わせによるワンストップ体制へ発展させている。 (https://komori.app/company/5381/filing/2021-fy)
- FY2023 前進 「新設した専用洗浄装置を用い、洗浄剤の開発、洗浄条件の最適化を図り、CMP、接合処理共に、従来にないレンジでお客様のニーズに応えられる受け入れ態勢の構築を達成しております。」 — 鹿沼事業所のクリーンルームと専用洗浄装置を用い、洗浄剤・条件の開発を進め、CMP・接合処理に対応する受入体制の構築を達成している。 (https://komori.app/company/5381/filing/2022-fy)
- FY2024 前進 「2022年4月に取得した鹿沼事業所への製造拠点集約を進めております。前連結会計年度の海外製造拠点であったタイからの製造設備移管に続き、当連結会計年度は京都工場からの製造設備移管、IH粉体塗装ラボの移設、NEDOグリーンイノベーション基金のSiCウェーハ加工・評価装置ラインの新設等があり、今後の事業拡大に向けた生産体制の再編を進めております。」 — 鹿沼事業所でSiCウェーハ加工・評価装置ラインを新設し、常温接合・研磨を含む高機能ウェーハ関連の生産・受託基盤を拡充している。 (https://komori.app/company/5381/filing/2023-fy)
- FY2025 前進 「また、経済産業省グリーンイノベーション基金、次世代デジタルインフラの構築に参画し、「超高品質・８インチ・低コストSiCウェーハ開発」活動を行っております。」 — 8インチSiCウェーハについて、ライン開発、加工工数削減、溶液法結晶の評価技術という3項目の年度目標を達成し、加工ライン・評価装置の提供計画と新型ノッチ／エッジ研磨装置開発へ進展している。 (https://komori.app/company/5381/filing/2024-fy)
