# 10nm・7nm世代向けマスクブランクスの顧客認定と開発｜信越化学工業（4063）の変遷

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## 経過

- FY2016 初出 「耐照射性に優れたＡｒＦハーフトーンブランクス及び10nmデザインルール用新構造ブランクスの主要顧客へのサンプル出荷が始まり顧客認定作業は最終段階、今後は7nm世代向けの開発に注力していきます。」 — 10nm向け製品のサンプル出荷・顧客認定の進捗と、7nm世代向け開発への移行を記載している。 (https://komori.app/company/4063/filing/2015-fy)
- FY2017 再掲 「耐照射性に優れたＡｒＦハーフトーンブランクス及び10nmデザインルール用新構造ブランクスの主要顧客へのサンプル出荷が始まり顧客認定作業は最終段階、今後は7nm世代向けの開発に注力していきます。」 — 10nm向け製品のサンプル出荷・顧客認定最終段階と、7nm世代向け開発への移行方針を継続している。 (https://komori.app/company/4063/filing/2016-fy)
- FY2018-Q1 再掲 「なお、当第１四半期連結累計期間において、当社グループの研究開発活動の状況に重要な変更はありません。」 — 10nm・7nm世代向けマスクブランクスの顧客認定・開発に関係する研究開発活動について、重要な変更がないと記載している。 (https://komori.app/company/4063/filing/2017-q1)
- FY2018-Q2 再掲 「なお、当第２四半期連結累計期間において、当社グループの研究開発活動の状況に重要な変更はありません。」 — 10nm・7nm世代向けマスクブランクスの顧客認定・開発に関係する研究開発活動について、重要な変更がないと記載している。 (https://komori.app/company/4063/filing/2017-q2)
- FY2018-Q3 再掲 「なお、当第３四半期連結累計期間において、当社グループの研究開発活動の状況に重要な変更はありません。」 — 10nm・7nm世代向けマスクブランクスの顧客認定・開発に関係する研究開発活動について、重要な変更がないと記載している。 (https://komori.app/company/4063/filing/2017-q3)
- FY2018 前進 「耐照射性に優れたＡｒＦハーフトーンブランクス及び10nmデザインルール用新構造ブランクスの主要顧客への認定が終了し量産出荷が開始、現在は７nm世代向けの開発に注力しています。」 — 10nm向けマスクブランクスは主要顧客の認定が終了し、量産出荷を開始した。開発の重点は7nm世代へ移っている。 (https://komori.app/company/4063/filing/2017-fy)
- FY2019-Q2 再掲 「なお、当第２四半期連結累計期間において、当社グループの研究開発活動の状況に重要な変更はありません。」 — 10nm・7nm世代向けマスクブランクスの顧客認定・開発に関係する研究開発活動について、重要な変更がないと記載している。 (https://komori.app/company/4063/filing/2018-q2)
- FY2019-Q3 再掲 「なお、当第３四半期連結累計期間において、当社グループの研究開発活動の状況に重要な変更はありません。」 — 10nm・7nm世代向けマスクブランクスの顧客認定・開発に関係する研究開発活動について、重要な変更がないと記載している。 (https://komori.app/company/4063/filing/2018-q3)
- FY2019 前進 「耐照射性に優れたＡｒＦハーフトーンブランクス及び７nmデザインルール用新構造ブランクスの主要顧客への認定が終了し量産出荷を開始、現在は５nm世代向けの開発に注力しています。」 — 7nmデザインルール用マスクブランクスは主要顧客の認定終了と量産出荷開始に至り、開発重点は5nm世代へ移っている。 (https://komori.app/company/4063/filing/2018-fy)
- FY2020-Q2 再掲 「なお、当第２四半期連結累計期間において、当社グループの研究開発活動の状況に重要な変更はありません。」 — 10nm・7nm世代向けマスクブランクスの顧客認定・開発に関係する研究開発活動について、重要な変更がないと記載している。 (https://komori.app/company/4063/filing/2019-q2)
- FY2020-Q3 再掲 「なお、当第３四半期連結累計期間において、当社グループの研究開発活動の状況に重要な変更はありません。」 — 10nm・7nm世代向けマスクブランクスの顧客認定・開発に関係する研究開発活動について、重要な変更がないと記載している。 (https://komori.app/company/4063/filing/2019-q3)
- FY2021-Q1 再掲 「なお、当第１四半期連結累計期間において、当社グループの研究開発活動の状況に重要な変更はありません。」 — 10nm・7nm世代向けマスクブランクスの顧客認定・開発に関係する研究開発活動について、重要な変更がないと記載している。 (https://komori.app/company/4063/filing/2020-q1)
- FY2022-Q1 再掲 「なお、当第１四半期連結累計期間において、当社グループの研究開発活動の状況に重要な変更はありません。」 — 10nm・7nm世代向けマスクブランクスの顧客認定・開発に関係する研究開発活動について、重要な変更がないと記載している。 (https://komori.app/company/4063/filing/2021-q1)
- FY2022 前進 「耐照射性に優れたＡｒＦハーフトーンブランクス及び７nmデザインルール用新構造ブランクスの主要顧客への認定が終了し量産出荷を開始、現在は５nm以細向けのＥＵＶ用ブランクスの開発に注力しています。」 — 7nm向け製品の主要顧客認定終了・量産出荷開始を確認し、開発の重点を5nm以細向けEUV用ブランクスへ進めている。 (https://komori.app/company/4063/filing/2021-fy)
- FY2023-Q2 再掲 「なお、当第２四半期連結累計期間において、当社グループの研究開発活動の状況に重要な変更はありません。」 — マスクブランクスの顧客認定・量産出荷および次世代製品の開発について、重要な変更がないと記載している。 (https://komori.app/company/4063/filing/2022-q2)
- FY2023-Q3 再掲 「なお、当第３四半期連結累計期間において、当社グループの研究開発活動の状況に重要な変更はありません。」 — マスクブランクスの顧客認定・量産出荷および次世代製品の開発について、重要な変更がないと記載している。 (https://komori.app/company/4063/filing/2022-q3)
- FY2023 前進 「耐照射性に優れたＡｒＦハーフトーンブランクス及び７nmデザインルール用新構造ブランクスの主要顧客への認定が終了し量産出荷を開始、現在は５nmから３nm以細向けのＥＵＶ用ブランクスの開発に注力しています。」 — 7nm向け製品の認定終了・量産出荷開始を維持しつつ、開発対象を5nmから3nm以細向けのEUV用ブランクスへ広げている。 (https://komori.app/company/4063/filing/2022-fy)
- FY2024-Q2 再掲 「なお、当第２四半期連結累計期間において、当社グループの研究開発活動の状況に重要な変更はありません。」 — マスクブランクスの顧客認定・量産出荷および次世代製品の開発について、重要な変更がないと記載している。 (https://komori.app/company/4063/filing/2023-q2)
- FY2024-Q3 再掲 「なお、当第３四半期連結累計期間において、当社グループの研究開発活動の状況に重要な変更はありません。」 — マスクブランクスの顧客認定・量産出荷および次世代製品の開発について、重要な変更がないと記載している。 (https://komori.app/company/4063/filing/2023-q3)
- FY2024 前進 「ＥＵＶ用ブランクスも量産に入りました。」 — 従来の次世代EUV用ブランクス開発から、EUV用ブランクスが量産に入った段階へ進展している。 (https://komori.app/company/4063/filing/2023-fy)